一、生產(chǎn)工藝設備的防污染管理
在食品工廠(chǎng)潔凈室內產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中生產(chǎn)設備的塵粒污染是不可忽視的，據資料介紹，在大規模集成電路生產(chǎn)過(guò)程中生產(chǎn)設備的發(fā)塵量要占總微粒污染量的30％左右，可見(jiàn)其影響之大。污染的類(lèi)型，除了影響制作微細圖形的微塵污染外，還有可使器件特性惡化的鈉、鉀等堿金屬和銅、鐵等重金屬分子或分子級污染。所謂生產(chǎn)設備的污染，雖然有的是生產(chǎn)工藝固有的污染，但是還有源設備制作材料、生產(chǎn)過(guò)程的原輔材料（包括反應氣體、輸送氣體、吹掃氣體和清洗用純水等），工器具使用不當和機械運動(dòng)及其潤滑劑等的各類(lèi)污染。還有在產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中由于操作失誤也會(huì )造成不應有污染。從各種食品工廠(chǎng)潔凈室內產(chǎn)品生產(chǎn)的實(shí)踐表明，加強食品工廠(chǎng)潔凈室內產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中生產(chǎn)工藝和設備的管理，確是降低室內污染程度提高產(chǎn)品質(zhì)量的重要措施。要十分認真細致地觀(guān)察潔凈室內的生產(chǎn)設備在運轉過(guò)程中可能發(fā)塵的情況，特別是運輸裝置、運動(dòng)部件、機械手等可能成為污染源；還有各類(lèi)泵、風(fēng)機等的電動(dòng)機內部軸承之間摩擦的發(fā)塵情況等，并針對這些污染源的情況制訂相應的管理措施和必要的對策。
二、食品工廠(chǎng)凈化空調系統設備的管理
食品工廠(chǎng)凈化空調系統裝置是確保食品工廠(chǎng)潔凈室內空氣潔凈度等級的主要設備，包括各類(lèi)空氣過(guò)濾器、潔凈工作臺、層流罩、空氣吹淋室、傳遞窗、空調裝置等的正常維護、定期檢查和規定的測試認證等。
食品工廠(chǎng)潔凈室的凈化空氣，可按《潔凈廠(chǎng)房設計規范》中的附錄B的規定進(jìn)行監測。在下列任一情況下，應更換高效空氣過(guò)濾器
①氣流速度降到最低限度，即使更換初效、中效空氣過(guò)濾器后，氣流速度仍不能增大
②高效空氣過(guò)濾器的阻力達到初阻力的1.5-2倍；
③高效空氣過(guò)濾器出現無(wú)法修補的滲漏
三、食品工廠(chǎng)動(dòng)力公用設施的管理
這些設施是實(shí)現潔凈室正常、安全運行的重要裝置，包括水、電、氣的供應系統以及通信、安全報警裝置等的日常維護、定期檢查和規定的測試、認證。
四、食品工廠(chǎng)設備和人身安全方面的管理
按規定記錄各類(lèi)設備的運轉狀態(tài)及有關(guān)參數，記錄和分析定期檢查、維修、清洗狀況，尤其注意定期檢查轉動(dòng)部件、通信和安全報警裝置以及自動(dòng)裝置等的完好狀態(tài)。
建立各類(lèi)設備技術(shù)狀況、運行檔案，將設備、儀器儀表說(shuō)明書(shū)、產(chǎn)品資料以及圖紙資料等分類(lèi)編號妥善保管；設備維修和儀器儀表校正的記錄；設備、儀器等的故障或事故記錄；運行記錄等均應分別匯編成冊保管，以便掌握設備、儀器的完好狀況和即時(shí)分析可能出現的各種問(wèn)題，確保潔凈室的正常、安全運行。
五、定期檢驗、校正各類(lèi)測試、測量?jì)x器、儀表，確保測量、控制的準確、可靠，若采用計算機管理、監控時(shí)，應定期檢查、校核其運轉情況，并注意即時(shí)留下必要的記錄。