一、在食品工廠(chǎng)設計裝修中，潔凈室中的配管種類(lèi),除了設有通常一般廠(chǎng)房都設置的消防水管、冷卻水管、生活用水管、排水管、一般壓縮空氣管外,通常還根據各類(lèi)食品工廠(chǎng)潔凈室內產(chǎn)品品種的不同、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的不同,要求供應各種類(lèi)型、各種純度等級的氣體、液體、化學(xué)品用作原料、保護介質(zhì)或清洗劑或吹掃置換介質(zhì)等,這些流體常常與產(chǎn)品直接接觸,因此要求供應不污染產(chǎn)品、雜質(zhì)含量極微的流體。在集成電路生產(chǎn)用潔凈室中通常有高純氣體配管,包括高純普氣(或大宗氣體)如H2、N2、O2、Ar、He等;特種氣體如SCl4、SiH4、PH3、B2H6、AsH3、cl2等;這些氣體常常分別具有可燃易燃、窒息、強氧化、腐蝕、有毒等性質(zhì)。高純水或超純水配管等。在藥品生產(chǎn)用潔凈室中通常要求供應無(wú)熱原的注射用水、滅菌消毒用純蒸汽或無(wú)菌蒸汽、無(wú)菌壓縮空氣、清洗用純水或配料用純水配管等。因此對潔凈空配管可歸納為下列幾類(lèi)。
1、食品工廠(chǎng)凈化空調系統用冷凍水供回水配管、熱水供回水配管、加濕用蒸汽管(藥品生產(chǎn)有時(shí)需純蒸汽管)等。
2、產(chǎn)品生產(chǎn)用純水、有超純水配管、注射用水管、純水管,有時(shí)還有低溫純水管、溫純水管等。
3、產(chǎn)品生產(chǎn)用高純氣體(含特種氣體管),這類(lèi)高純氣配管有的潔凈室僅有數種,有的則有數十種,這里不一一列舉。
4、產(chǎn)品生產(chǎn)或滅菌消毒用蒸汽管或滅菌蒸汽配管或純蒸汽配管;滅菌壓縮空氣管等。
二、配管管材、附件的選擇,如前所述食品工廠(chǎng)潔浄室內各類(lèi)配管種類(lèi)很多、性質(zhì)各異、純度要求嚴格,高品質(zhì)的產(chǎn)品生產(chǎn)要求這些流體在輸送過(guò)程中不會(huì )受到沾污,這里所說(shuō)的沾污包括化學(xué)的、機械的和微粒等的沾污,要使所選用的材質(zhì)、附件達到如上要求是十分困難的,比如若采用一般的不銹鋼管材和不銹鋼閥門(mén),據有資料介紹此類(lèi)閥門(mén)開(kāi)關(guān)一次將會(huì )有≥0.1μm微粒數十顆帶入被輸送的流體中。因此目前在潔凈廠(chǎng)房的高純氣體輸送用管材主要采用不銹鋼電拋光管(EP管)或光亮退火管(BA管),閥門(mén)采用與管材相同材質(zhì)的隔膜閥或波紋管閥.
潔凈室高純水、注射用水的輸送用管材主要采用不銹鋼管和聚氯乙烯(UPVC、Cl-PVC)、聚丙烯(PP)、丙烯腈-丁二烯-苯二烯(ABS)、聚偏氟乙烯(PVDF)等管材,閥門(mén)附件采用與管材相同材質(zhì)的隔膜閥等。對腐蝕性、有毒的化學(xué)品的輸送用管材,在微電子用潔凈廠(chǎng)房中采用PFA(四氟乙烯管)。