對于凈化車(chē)間來(lái)說(shuō)，防止儀器設備被污染是重要的管理內容，當設備被污染后，這些被污染的設備會(huì )讓產(chǎn)品也被污染，所以我們必須防止凈化車(chē)間內的設備被污染，下面華盛興邦就談下凈化車(chē)間中的設備怎么防止污染。
一、生產(chǎn)工藝設備的防污染管理
在凈化車(chē)間內產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中，生產(chǎn)設備的塵粒污染是不可忽視的。據資料介紹，在大規模集成電路生產(chǎn)過(guò)程中生產(chǎn)設備的發(fā)塵量要占總微粒污染量的30％左右，可見(jiàn)其影響之大。污染的類(lèi)型除了影響制作微細圖形的微塵污染外，還有可使器件特性惡化的鈉、鉀等堿金屬和銅、鐵等重金屬的分子或分子級污染。所謂生產(chǎn)設備的污染，雖然有的是生產(chǎn)工藝固有的污染，但是還有源于設備制作材料、生產(chǎn)過(guò)程中的原輔材料（包括反應氣體、輸送氣體、吹掃氣體和清洗用純水等）、工器具使用不當和機械運動(dòng)及其潤滑劑等的各類(lèi)污染，還有在產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中由于操作失誤造成的不應有污染。各種凈化車(chē)間內產(chǎn)品生產(chǎn)的實(shí)踐表明，加強凈化車(chē)間內產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中生產(chǎn)工藝和設備的管理，的確是降低室內污染程度，提高產(chǎn)品質(zhì)量的重要措施。要十分認真細致地觀(guān)察凈化車(chē)間內的生產(chǎn)設備在運轉過(guò)程中可能發(fā)塵的情況，特別是運輸裝置、運動(dòng)部件、機械手等可能的污染源，還有各類(lèi)泵、風(fēng)機等的電動(dòng)機內部軸承之間的摩擦，并針對這些污染源的情況制訂相應的管理措施和必要的對策。
二、生產(chǎn)工藝設備和工器具的防污染管理措施
以大規模集成電路生產(chǎn)用凈化車(chē)間為例:生產(chǎn)工藝設備和工器具的防污染管理措施中較徹底的方法是實(shí)現生產(chǎn)過(guò)程自動(dòng)化，不再采用手工操作方式運送硅片，不再用鑷子進(jìn)行硅片的裝送，以杜絕設備、工器具和人身帶來(lái)的污染。同時(shí)，隨著(zhù)硅圓片直徑的不斷增大，人工操作已不能適應工藝生產(chǎn)要求，所以全面實(shí)現自動(dòng)化操作已不僅是改善生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈度的需要，而且與改善企業(yè)的經(jīng)濟利益密切相關(guān)了。
又例如某硅片自動(dòng)化輸送系統，由一種或數種生產(chǎn)工藝設備組成微環(huán)境加工區，將這些加工區按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求進(jìn)行組合形成產(chǎn)品生產(chǎn)流水線(xiàn)，在兩個(gè)加工的交接點(diǎn)上設置儲料器，用它來(lái)緩沖由于生產(chǎn)工藝設備生產(chǎn)速度不同、單片處理和分批處理的不同以及其他原因造成的物流不平衡。設置儲料器后，加工區之間的輸送就成為儲料器之間的輸送，加工區內的輸送則為儲料器與生產(chǎn)工藝設備之間、生產(chǎn)工藝設備與生產(chǎn)工藝設備之間的傳送。潔凈廠(chǎng)房設計時(shí)，應根據建筑平面與空間、人員通行與操作、生產(chǎn)設備的移動(dòng)與維護以及公用動(dòng)力設施和管線(xiàn)等的實(shí)際情況進(jìn)行綜合協(xié)調，選擇不同的方式、不同的布置。