在凈化車(chē)間設計中，微環(huán)境設計是現在比較受歡迎的一種形式。所謂微環(huán)境就是利用物理屏障將關(guān)鍵的生產(chǎn)區域加以隔離，免遭污染，并為其提供質(zhì)量最好的空氣。而隔離區域以外的其他區域，獲得的空氣質(zhì)量可以不如微環(huán)境那樣好，參見(jiàn)圖所示。
凈化車(chē)間的微環(huán)境也是一種隔離裝置，是隔離技術(shù)在工程中的具體應用。
圖5-34是不帶微環(huán)境的常規潔凈室設計圖。在潔凈室中，在工作人員將硅晶片從一個(gè)設備移到另一個(gè)設備的地方，系統提供了大量的單向流空氣，以保證最好的空氣條件（即圖5-34中的白色部分，ISO3級水平）。用隔板與設備隔開(kāi)的服務(wù)區，則提供質(zhì)量較低的空氣（即圖5—34的陰影部分，ISO6級水平）。
圖5-35是使用了微環(huán)境的設計圖。由微環(huán)境提供最高質(zhì)量的環(huán)境條件（圖中白色部分，要求為ISO3級），而在生產(chǎn)區和服務(wù)區均只提供了質(zhì)量較低的空氣（圖中陰影部分，要求為ISO6級或更差些）?？梢钥闯?，這種使用了微環(huán)境的設計可以大大降低整個(gè)系統的送風(fēng)量，既保證了工藝區域要求的空氣潔凈度，又降低了能量消耗。在整個(gè)半導體設施的SMIF執行區域，從潔凈空間體積的縮小和能量節省來(lái)看可能是最為要緊的。