下面華盛興邦談下凈化車(chē)間的隔離裝置與微環(huán)境。降低造價(jià)及運行費用是凈化車(chē)間設計所追求的目標，當加強污染控制會(huì )帶來(lái)產(chǎn)量、質(zhì)量的提高時(shí)尤其如此。因此，各種稱(chēng)為“隔離裝置”“屏障技術(shù)”“微環(huán)境”的設施如雨后春筍般涌現出來(lái)?！拔h(huán)境”是半導體工業(yè)中常用的術(shù)語(yǔ)，“隔離裝置”“屏障技術(shù)”則在生物潔凈如制藥工業(yè)中經(jīng)常用到。
各種凈化級別的凈化車(chē)間實(shí)際上就是一種隔離裝置，使加工工藝及其加工的產(chǎn)品遠離污染，提高產(chǎn)品的優(yōu)良率?？梢哉f(shuō)，潔凈技術(shù)就是隔離技術(shù)。在潔凈技術(shù)的發(fā)展中曾依次使用過(guò)四種半導體工業(yè)中的潔凈室模式它們是:全室型、混合型、潔凈隧道型和潔凈管道型，如圖1所示。
圖1
從上面提到的四種潔凈方式或四代潔凈室的發(fā)展方式可以看出，潔凈技術(shù)的發(fā)展方向就是在努力提高潔凈度等級的同時(shí)，盡可能地減少超潔凈區域的容積，降低潔凈廠(chǎng)房的造價(jià)和運行費用，達到最小化生產(chǎn)成本的目的。微環(huán)境和SMIF/微環(huán)境就是在這樣的理念下發(fā)展起來(lái)的。