對于潔凈廠(chǎng)房設計來(lái)說(shuō)，空氣循環(huán)系統的設計是至關(guān)重要的，下面華盛興邦就給大家介紹幾種空氣循環(huán)系統。
一、集中送風(fēng)方式
這種方式一般是采用數臺大型新風(fēng)處理機組和凈化循環(huán)機組集中設置在空調機房?jì)?空調機房可位于潔凈室的側面或頂部。經(jīng)過(guò)溫度、濕度處理和過(guò)濾后的空氣由離心風(fēng)機或軸流風(fēng)機加壓后通過(guò)風(fēng)道送入送風(fēng)靜壓箱,再經(jīng)由高效過(guò)濾器或超高效過(guò)濾器過(guò)濾后送入潔凈室?；仫L(fēng)經(jīng)格柵地板系統,流入回風(fēng)靜壓箱再回到凈化循環(huán)系統,如此反復循環(huán)運行。
二、隧道潔凈室送風(fēng)方式
這種送風(fēng)方式一般把潔凈室劃分為生產(chǎn)核心區、維護區,生產(chǎn)核心區要求高潔凈度和嚴格的溫、濕度控制,設在單向流送風(fēng)區內;維護區要求較低,設置生產(chǎn)輔助設備或無(wú)潔凈要求的生產(chǎn)設備的尾部和配管配線(xiàn)等。生產(chǎn)區為送風(fēng)區,維護區為回風(fēng)區,構成空氣循環(huán)系統。一般隧道式送風(fēng)是由多臺循環(huán)空氣系統組成,所以其中一臺循環(huán)機組出現故障不會(huì )影響其他區域的生產(chǎn)環(huán)境潔凈度,并且各個(gè)循環(huán)系統可根據產(chǎn)品生產(chǎn)需要進(jìn)行分區調整控制。
三、風(fēng)機過(guò)濾單元送風(fēng)方式
這是在潔凈室的吊頂上安裝多臺風(fēng)機過(guò)濾單元機組,構成凈化循環(huán)機組,不需要配置凈化循環(huán)空調機房,送風(fēng)靜壓箱為負壓?？諝庥蒄FU送到潔凈室,從回風(fēng)靜壓箱經(jīng)兩側夾道回至送風(fēng)靜壓箱,根據潔凈室的溫度調節需要,一般在回風(fēng)夾道設干式表冷器。新風(fēng)處理機可集中設在空調機房?jì)?處理后新風(fēng)直接送入送風(fēng)靜壓箱。因送風(fēng)靜壓箱為負壓,有利于高效過(guò)濾器頂棚的密封;但由于FFU機組臺數較多,在滿(mǎn)布率較高時(shí),一般投資較大,運行費用亦多,有的FU噪聲較大,選用時(shí)需要注意。
四、模塊式風(fēng)機單元送風(fēng)方式
它是由送風(fēng)機安裝在HEPA或ULPA之上,1臺送風(fēng)機可配數臺高效過(guò)濾器的空氣循環(huán)系統,這種模塊式風(fēng)機單元循環(huán)系統是無(wú)風(fēng)管道方式,空氣輸送速度較低,送風(fēng)機和過(guò)濾器維修較方便,能量消耗較少。
五、微環(huán)境+開(kāi)放式潔凈室的送風(fēng)方式
這種方式是為了確保日益要求生產(chǎn)環(huán)境極為嚴格的半導體芯片生產(chǎn)的關(guān)鍵工序或設備的微環(huán)境控制達到高潔凈度等級(如0.05~0.1μm,ISO1級),而其周?chē)拈_(kāi)放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對較差的潔凈度等級(如ISo5級或ISO6級),微環(huán)境內控制潔凈度嚴格的單向流潔凈環(huán)境,而開(kāi)放式潔凈室為單向流或混合流潔凈室。這種方式的能量消耗較少工藝布置靈活性好,建設投資和運行費用都可以降低。