為保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境或其他用途的潔凈室設計所要求的空氣潔凈度,要采取多種綜合技術(shù)措施才能達到要求。這些綜合技術(shù)措施包括：采用污染物較少的生產(chǎn)工藝和設備，或采取必要的隔離和負壓措施，防止生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生的污染物向周?chē)鷶U散，采用粉塵少、微生物少的室內裝飾材料和工具，減少人員和材料帶入室內的污染物，保持生產(chǎn)環(huán)境相對于室外的清潔或空氣質(zhì)量要求低的相鄰房間應有一定的正壓防止室外或相鄰房間通過(guò)門(mén)窗或其他縫隙、孔洞攜帶污染物；加強潔凈室管理，按規定進(jìn)行清潔消毒。
除上述技術(shù)措施外，為了將生產(chǎn)環(huán)境或其他用途的潔凈室的室內環(huán)境控制在要求的空氣潔凈度水平，重要的技術(shù)措施是送足夠的經(jīng)處理的潔凈空氣，以代替或稀釋正常生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的污染物污染的空氣房間的操作。潔凈室的空氣凈化處理是指根據房間不同潔凈度等級的要求，以不同方式處理的潔凈空氣以不同的方式送出，并將相應數量的受室內產(chǎn)生的污染物質(zhì)污染的臟空氣排出，使潔凈室動(dòng)態(tài)平衡，使室內環(huán)境保持在所需的空氣潔凈度水平。通常所指的空氣污染物質(zhì)主要有以下三類(lèi)。
①懸浮在空氣中的固態(tài)、液態(tài)粒子;包含附著(zhù)在粒子上的分子污染物
②霉菌、細菌等懸浮在空氣中的微生物
③各種對人體或生產(chǎn)產(chǎn)品有害的氣體。
根據空氣中含有的污染物質(zhì)不同,采用相應的凈化處理方法,空氣中主要污染物質(zhì)的凈化方法如表1所列。
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污染物類(lèi)別 |
主要凈化方法 |
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懸浮微粒 |
過(guò)濾法、洗滌分離法、靜電沉積法、重力沉降法、離心力和慣性力分離法 |
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細菌等微生物 |
過(guò)濾法、紫外線(xiàn)殺菌法、消毒劑噴霧法、加熱滅菌法、臭氧殺菌法、焚燒法等 |
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有害氣體、化學(xué)污染物 |
吸附法、吸收法、過(guò)濾法、焚燒法、催化氧化法等 |
目前潔凈室對送入空氣的凈化方法,最重要和使用最廣泛的方式是空氣過(guò)濾法。送入潔凈室的清潔空氣,主要是靠在送風(fēng)系統的各部位設置不同性能的空氣過(guò)濾器,用以除去空氣中的懸浮粒子和微生物。近年來(lái),根據一些工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)的微細化、精密化和高純要求,還需去除空氣中濃度極微的化學(xué)污染物或分子污染物,如超大規模集成電路生產(chǎn)、生物制品的生產(chǎn)等。為此,在潔凈室的送風(fēng)系統應增設各種類(lèi)型的化學(xué)過(guò)濾器、吸附過(guò)濾器、吸收裝置等。