對于電子廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)房設計來(lái)，由于在生產(chǎn)某些產(chǎn)品的過(guò)程中，會(huì )產(chǎn)生有害氣體，我們不能直接將這些氣體排放到大氣中，必須經(jīng)過(guò)處理后排放，下面筆者就談下電子廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)房有害氣體排放設計。
一、有害氣體種類(lèi)
1、含酸類(lèi)廢氣
主要來(lái)源于化學(xué)清洗工作中產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體。
2、含堿類(lèi)廢氣
主要來(lái)源于化學(xué)清洗工作中產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體。
3、毒性廢氣
如含磷、硼、鎵、砷以及四氯化硅等的廢氣，主要來(lái)源于化學(xué)氣相沉積干蝕刻機、擴散、離子植入等工序。
4、工藝尾氣
如含H2、O2等工藝尾氣。
5、含有機溶劑廢氣等
生產(chǎn)過(guò)程中會(huì )使用多種有機物，如乙氧基全氟丁烷、全氟三丙基胺、全氟三丁基胺、全氟乙烷、丙二醇單甲基醚、異丙醇、乙醇、丁酮、丙酮、環(huán)己酮、乙醛等。這些有害物質(zhì)一則污染外環(huán)境的大氣，二則在進(jìn)入空調系統后，對生產(chǎn)進(jìn)一步造成危害，所以必須處理。
二、處理措施
對含酸、堿氣體可用濕式淋洗方法處理，可直接用水，或用其他化學(xué)溶液如氨水、氫氧化鈉溶液進(jìn)行中和。
對含砷（如三氯化砷）、磷（如三氯化磷）等的廢氣，可噴進(jìn)酸、堿溶液吸收，其中50％氫氧化鈉對PCl3吸收效果好，但對AsCl3的效果不理想。對含砷化氫（AsH3）的氣體可用飽和高錳酸鉀溶液噴淋吸收。對含四氯化硅（SiCl4）的尾氣可直接淋水進(jìn)行水解。其他工藝尾氣如氮氣、氧氣、氨氣、硅烷等也可淋水吸收。
也可用加熱（燃燒）兼水洗方法去除有害氣體對于未處理的或反應剩余的可燃性氣體如氫氣、硅甲烷，可利用加熱（燃燒）方式將其高溫氧化；若為有毒有腐蝕性或易爆氣體，可溶于水的，利用冷水洗滌冷卻。
還可用活性炭加添加劑的化學(xué)過(guò)濾器處理有害氣體。也可用化學(xué)吸附方式將有害氣體吸附至金屬罐中，通過(guò)壓力或出口濃度傳感器，檢測吸附劑是否飽和，定時(shí)更換吸附劑。
還可用沸石濃縮轉輪加直燃式焚化系統，使廢氣經(jīng)過(guò)一濃縮轉輪濃縮，濃縮倍率可提高10倍，再將高濃度的有機廢氣送人燃燒機燃燒后排放，因此燃燒機的大小可為原來(lái)的1/10。后段燃燒分解效率可達99％通過(guò)轉輪機的氣體速度以不超過(guò)2m/s最佳。此種方式由于完全燃燒而無(wú)二次污染。
三、淋水式處理
淋水式是一種傳統的經(jīng)典方法，利用水洗方法將可溶于水的廢氣及粉塵水洗清除。部件有噴嘴、水泵、加堿設備及pH值分析器、進(jìn)出口壓力敏感元件、流量敏感元件、控制監視裝置等。
四、化學(xué)過(guò)濾器處理送風(fēng)和回風(fēng)
化學(xué)過(guò)濾器在系統中有以下配置方案：
1、設于新風(fēng)處理機組內，消除新風(fēng)帶入的污染；
2、于回風(fēng)空調機組內，消除生產(chǎn)中所產(chǎn)生的污染以節約新風(fēng)量及其他空調負荷；
3、與FFU結合控制送風(fēng)氣流的潔凈；
4、與微環(huán)境結合，設于生產(chǎn)設備近端以保證生產(chǎn)質(zhì)量。
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