電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外，還有純水要求。我國電子級的純水技術(shù)指標如下圖所示。
圖1
從上面圖可見(jiàn)，水質(zhì)中對微生物的量也有很?chē)赖囊?/span>。
硅是以有機物和化合物的形式在硅片上留下痕跡的。金屬的影響將降低產(chǎn)品壽命。
潔凈度級別（ISO）在高于6級（不含）時(shí)，室內不應設地漏，6級室內必須設地漏時(shí)，應采用潔凈專(zhuān)用地漏，7級及其以上潔凈室不宜設排水溝，如必須設時(shí)，應在進(jìn)入室外管網(wǎng)處設水封，此類(lèi)等級潔凈室也不允許排水立管在室內穿過(guò)電子工業(yè)潔凈室純水供應一般采用單管式循環(huán)系統，當對水質(zhì)要求十分嚴格時(shí)，應采用雙管式循環(huán)系統（例如單晶硅圓片的生產(chǎn)）純水管材質(zhì)可以在以下幾種材質(zhì)中選擇:
低碳優(yōu)質(zhì)不銹鋼管（304、304L、316、316L）、聚氯乙烯管、聚丙烯管、丙烯腈丁二烯苯乙烯管、聚偏二氟乙烯管
電子工業(yè)潔凈室常大量使用氫氣、氧氣、氮氣、氬氣和氦氣等，也使用一些特殊氣體，如硅烷等有毒和有爆炸危險的氣體。
設有氫氣等可燃氣體管道的場(chǎng)所，列人甲類(lèi)火災危險區。氫氣、氧氣管道的末端或最高點(diǎn)應設高于屋面最高處1m以上的放散管。日用量不超過(guò)1瓶時(shí)，氣瓶可放在潔凈室內。
特種氣體存放量不得超過(guò)1d的用量?？扇己陀卸镜奶胤N氣體瓶應設在通風(fēng)柜中，不間斷通風(fēng)。硅烷或硅烷混合物只能單瓶存放于氣柜中。
氣體管道中的氣體露點(diǎn)低于60℃時(shí)，管道內壁應拋光。
電子工業(yè)潔凈室的生產(chǎn)區、技術(shù)夾層、機房、站房等處均應設火災探測器，在空調凈化系統與新風(fēng)混合前的回風(fēng)管道中設置早期火災探測器。
電子工廠(chǎng)潔凈用房用電等級和供配電要求除考慮生產(chǎn)工藝外，應遵循國標《供配電系統設計規范》的規定，這里不再說(shuō)明。