在微電子工業(yè)中使用了兩類(lèi)氣溶膠過(guò)濾器:纖維過(guò)濾器和膜片過(guò)濾器。
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1.纖維過(guò)濾器
纖維過(guò)濾器是一個(gè)直徑不同、長(cháng)度不等、雜亂朝向的纖維集合體,纖維被填充、壓實(shí),或者結合成一種織物層(有時(shí)借助于纖維黏結劑),放在被過(guò)濾的空氣要通過(guò)的一個(gè)固定的空間內。纖維過(guò)濾器的效率可以比較低,也可以用長(cháng)網(wǎng)造紙機工藝制造高效纖維濾紙過(guò)濾器。在高效纖維濾紙過(guò)濾器中,所用的填料包括用于高效捕集亞微米粒子、直徑為亞微米級的超細玻璃纖維,以及提高強度用的較大直徑的纖維(大至5μm)。纖維過(guò)濾器的孔率為85%~99%。
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2.膜片過(guò)濾器
膜片過(guò)濾器是勻質(zhì)的固體薄片,用輻照、蝕刻、雙軸延伸或溶劑揮發(fā)等各種方法對膜片進(jìn)行穿洞或穿細孔而制成。溶劑揮發(fā)工藝是最通用的方法。將含有揮發(fā)性溶劑的適當塑料溶液澆注到一些薄片上,然后做固化處理,在固化中,各種組分以不同的速率揮發(fā),最后留下一張多孔而連續的膜片。這種溶劑澆注膜片過(guò)濾器的典型孔率為70%~85%。
膜片過(guò)濾器的材質(zhì)為各類(lèi)纖維素酯,厚度在數十微米左右,表面帶有靜電,均勻地分布著(zhù)孔徑為0.1~10μm的圓孔,開(kāi)孔率高達70%~85%,平均每平方厘米有107~108個(gè)小孔。比孔徑大的微粒,100%被截留于濾膜表面。微電子工業(yè)中多用于光譜純的用水用氣點(diǎn)。
特別要提到的一種膜片過(guò)濾器是通過(guò)聚四氟乙烯(PTFE)的雙向拉伸制成的。該過(guò)濾器的主要優(yōu)點(diǎn)是其化學(xué)穩定性,在結構上也呈現出更好的膜片過(guò)濾器與纖維過(guò)濾器之間的相似性。在雙向拉伸作用下,PTFE膜片既保持了單一的固態(tài)的完整性,又被撕裂為一張精細的亞微米的微絲網(wǎng)絡(luò ),這更像纖維過(guò)濾器的結構而不像膜片過(guò)濾器的結構。PTFE濾紙與傳統的高效玻璃纖維濾紙相比直徑更小,結構更加均勻。用PTFE制作的空氣過(guò)濾器其效率等級為H13時(shí),初阻力在50Pa左右。